1.高精度：可气通道和点通道混合使用，分辨率达到0.1um；
2.多通道设计：可更灵活的适配检测方案，实现如锥度、圆度、平行度等的线边监控；
3.自研系统：配套恩梯公司专业测量软件，可实现多程序快速切换、通道间算法编写、自动保存等功能；
4.SPC分析：可针对关键特性一键生成《样本运行图》、《均值极差图》、《过程能力图》；
5.自动化对接：可通过自动化设备对接上下料，实现自动化检测；
6.一体化：气通道、电通道双通道兼容，实现一体化高效应用；